【摘要】 本发明是提供一种阴极放电装置，其包括一阳极、一阴极以及多个阴极腔室。其中该阴极位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，其中该多个气体流道经由该流道通孔相通；该多个阴极腔室位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，每一该阴极腔室经由该腔室气体入口与该气体流道相通。本发明可应用于太阳能电池等光电装置的大面积薄膜制程的中空阴极放电的电浆源装置，通过工作气体流道的稳压作用，电浆具有高均匀度与高解离度的特性，并可提高成膜速率，大幅提升太阳能电池等光电装置的制造技术、产品性能、产品的质量稳定性及质量可靠度，并显著降低生产成本，造福大众使用者。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810184386.0 【申请日】2008-12-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101752171A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101752171B 【授权公告日】2011-12-07 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01J37/32 【发明人】董福庆; 沈添沐; 何荣振; 吴佩珊; 陈家铭; 陈冠州; 简荣祯; 梁沐旺 【主权项内容】一种阴极放电装置，其特征在于，包括：一阳极；一阴极，位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，该多个气体流道经由该流道通孔相通；以及多个阴极腔室，位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，且每一该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【家族引证次数】4.0
