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微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片专利

发布时间:2026-06-18

【摘要】 本发明是有关于一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片,具有一第一镜片以及一第二镜片,均为新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片所构成;其中,所述第一镜片,具有一第一光学面及一第二光学面,主要是将微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描关系的扫瞄光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光点;所述第二镜片,具有一第三光学面及一第四光学面,主要是将第一镜片的扫瞄光线修正聚光于目标物上,且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件,藉由第一镜片及第二镜片的设置,可以达成线性扫描效果与高解析度扫描的功效。 【专利类型】发明授权 【申请人】一品光学工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810095517.8 【申请日】2008-04-23 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101566726B 【公开公告日】2010-12-22 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101566726B 【授权公告日】2010-12-22 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02B26/10; B41J2/47; G03G15/00 【发明人】施柏源 【主权项内容】1.一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片,适用于微机电激光扫描装置,所述微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用以感光的目标物;其特征在于所述二片式fθ镜片包含:由所述微机电反射镜起算,依序由一新月形且凹面在所述微机电反射镜侧的一第一镜片,以及一新月形且凹面在微机电反射镜侧的一第二镜片所构成,其中: 所述第一镜片,具有一第一光学面及一第二光学面,是将所述微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点; 所述第二镜片,具有一第三光学面及一第四光学面,是将所述第一镜片的扫描光线修正聚光于所述目标物上; 藉由所述二片式fθ镜片,将所述微机电反射镜反射的扫描光线在一主扫描方向及一副扫描方向在所述目标物上成像; 所述主扫描方向进一步满足下列条件: 其中,f(1)Y为所述第一镜片在所述主扫描方向的焦距,f(2)Y为所述第二镜片在所述主扫描方向的焦距,d3为θ=0°所述第一镜片目标物侧光学面至所述第二镜片微机电反射镜侧光学面的距离,d4为θ=0°所述第二镜片厚度,d5为θ=0°所述第二镜片目标物侧光学面至所述目标物的距离。 【当前权利人】一品光学工业股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市 【引证次数】15.0 【自引次数】1.0 【他引次数】14.0 【家族引证次数】15.0

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  • 【摘要】本发明是关于一种可模拟系统测试的芯片测试分类机,先于机台上设 有温控室,温控室的底板设置一测试座,机械臂的下压杆下方组设有真空 吸嘴用以吸取待测芯片,然后将下压杆下压深入温控室内使得待测芯片对 应抵紧测试座并与模拟系统电路板电性连接
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  • 【摘要】本发明嵌入榫式封装结构,包含有一承载器与一芯片,该承载器具有相对的上表面及下表面,该上表面上设有至少一突出物或凸榫,该下表面上设有一凹槽或凹榫,其形状、大小、位置对应于该凸榫,所以可透过上下表面的榫接而将二承载器堆栈接合在一起。该突