【摘要】 一种双谐振梁式微机械压力传感器，主要包括：感压膜片、非感压区、谐振工作梁和谐振补偿梁四部分，结构中央为矩形感压膜片，敏感被测压力产生相应变形；感压膜片周边部分为非感压区，不敏感被测压力；感压膜片周边固支在非感压区的内壁上；谐振工作梁双端固支于感压膜片上表面中央处，感受被测压力，从而改变自身谐振频率，通过闭环系统检测该谐振频率，获得对应的被测压力值；谐振补偿梁双端固支于非感压区上表面，和谐振工作梁平行且几何尺寸一致，对被测压力不敏感，只感受与谐振工作梁相同的温度等环境因素；用谐振工作梁的谐振频率和谐振补偿梁的谐振频率进行差分，即可消除由于温度等环境因素引起的工作梁谐振频率的变化，从而提高了传感器的测量精度和稳定性。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京航空航天大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100083 北京市海淀区学院路37号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810113421.X 【申请日】2008-05-29 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101281071B 【公开公告日】2010-07-21 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101281071B 【授权公告日】2010-07-21 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01L9/00; B81B7/02 【发明人】樊尚春; 汤章阳; 刘广玉 【主权项内容】一种双谐振梁式微机械压力传感器，其特征在于：它由感压膜片(1)、非感压区(2)、谐振工作梁(3)和谐振补偿梁(4)四部分组成；感压膜片(1)为一矩形膜片，位于整个压力传感器结构的中央；非感压区(2)位于感压膜片(1)周边，感压膜片(1)周边固支在非感压区(2)的内壁上；谐振工作梁(3)双端固支于感压膜片(1)上表面中央处，谐振补偿梁(4)双端固支于非感压区(2)上表面上；谐振补偿梁(4)位于非感压区(2)的内边界和外边界之间满足双端固支条件的区域内，谐振补偿梁(4)与谐振工作梁(3)平行且几何尺寸大小一致；谐振补偿梁(4)与谐振工作梁(3)所采用的振动激励、振动检测方式以及相关参数均一致；且感压膜片(1)、非感压区(2)、谐振工作梁(3)和谐振补偿梁(4)四部分所采用的材料均一致。 【当前权利人】北京航空航天大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区学院路37号 【统一社会信用代码】12100000400011227Y 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】38
