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对列阵器件进行光束快轴压缩的方法专利

发布时间:2026-06-14

【摘要】 本发明公开了一种对列阵器件进行光束快轴压缩的方法,该方法包括:制作列阵器件光束快轴压缩用圆柱透镜;确定该圆柱透镜与列阵器件之间的位置关系;按照确定的位置关系将圆柱透镜与列阵器件用紫外胶粘结固定在一起。利用本发明,能够满足列阵器件和叠层列阵器件光束快轴压缩的要求,实现了对列阵器件进行光束快轴压缩。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083 北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810118969.3 【申请日】2008-08-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101662125B 【公开公告日】2010-12-01 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101662125B 【授权公告日】2010-12-01 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01S5/40; H01S5/06; H01S5/00; H01S3/0941; G02F1/35 【发明人】刘媛媛; 李伟; 马骁宇 【主权项内容】一种对列阵器件进行光束快轴压缩的方法,其特征在于,该方法包括:制作列阵器件光束快轴压缩用圆柱透镜;确定该圆柱透镜与列阵器件之间的位置关系;按照确定的位置关系将圆柱透镜与列阵器件用紫外胶粘结固定在一起;其中,对于单列阵器件,所述确定圆柱透镜与列阵器件之间的位置关系的步骤包括:将微沟道封装的单列阵器件固定在一个二维可调节机械装置上,两维移动包括沿x轴和y轴的平移移动;将一个接收屏放置于距单列阵器件1m以外的区域里,在接收屏的中心处划上一条水平基准线,使该水平基准线与将单列阵器件的高度相同;将单列阵器件的正负极与驱动源的正负极连接;将焊有圆柱透镜的陶瓷固定在一个五维可调节机械装置上,五维包括有x轴、y轴、z轴的平移调节,绕y轴的转动的角度θ轴和绕z轴转动的轴的转动调节;加电,电流控制在阈值以上不超过5A;将CCD镜头对准接收屏,调节显示器设置,以清楚地看到标记的水平线及单列阵器件的发光为宜;以及调节五维可调节机械装置,使单列阵器件发出的光经圆柱透镜准直成平行光后,在显示器上出现一条平直的亮带与基准线重合;对于叠层列阵器件,所述确定圆柱透镜与列阵器件之间的位置关系的步骤包括:将叠层列阵器件固定在一个二维可调节机械装置上,两维移动包括沿x轴和y轴的平移移动;将接收屏放置在距叠层列阵器件L米以外的区域里,使叠层列阵器件的发光区中心线与接收屏上水平基准线在同一高度上,若叠层列阵器件的发光区高度为X米,要求叠层列阵器件准直后的远场发散角为ψ弧度,则存在如下关系式:L>X/ψ;将叠层列阵器件的正负极与驱动电源的正负极相连接;将焊有圆柱透镜的陶瓷固定在一个五维可调节机械装置上,五维包括有x,y轴、z轴的平移调节,绕y轴的转动的角度θ轴和绕z轴转动的轴的转动调节,光束压缩沿着叠层列阵器件从上向下进行;加电,工作电路控制在阈值电流以上不超过5A;将CCD镜头对准接收屏,调节显示器设置,以清楚地看到标记的水平线及叠层列阵器件的发光为宜;以及调节五维可调节机械装置,使叠层列阵器件发出的光经圆柱透镜准直成平行光后,在显示器上出现一条平直的亮带与基准线重合。FSB00000223138400011.tif, FSB00000223138400021.tif 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【引证次数】4.0 【被引证次数】3 【他引次数】4.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】9

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