【摘要】 本发明属于特种微细加工技术领域，涉及一种微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构，由微细电极丝进给与损耗自动补偿模块、微细电极丝辅助激振模块以及微细电极丝精密导向模块组成。常闭夹丝机构位于常开夹丝机构和精密导向模块之间，缩短了常闭夹丝机构夹丝点与导向模块间的距离，提高了微细电极丝的稳定性。微细电极丝在伺服进给的同时，还在辅助激振模块的作用下高频振动，用于改善间隙放电状态与排屑条件，提高加工效率。精密导向模块采用在硅片上刻蚀的精密V型导向槽实现对微细电极丝的高精度导向，一种规格V型导向槽的硅片可以适应一定直径范围的电极丝。本发明用于微细孔加工。 【专利类型】发明授权 【申请人】清华大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100084 北京市100084-82信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810111890.8 【申请日】2008-05-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101362236B 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101362236B 【授权公告日】2010-06-09 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】B23H7/26; B23H1/00 【发明人】李勇; 徐明刚; 刘伟; 陈旭鹏; 贾维溥 【主权项内容】一种微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构，主要由微细电极丝进给与损耗自动补偿模块、微细电极丝辅助激振模块和微细电极丝精密导向模块组成。其特征在于，该微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构中，微细电极丝进给与损耗自动补偿模块与Z向伺服驱动主轴(13)直接相连，微细电极丝进给与损耗自动补偿模块主要由常开夹丝机构(8)和常闭夹丝机构(7)组成，常闭夹丝机构(7)在常开夹丝机构(8)下面，位于常开夹丝机构(8)和微细电极丝精密导向模块之间，微细电极丝(9)由常闭夹丝机构(7)夹持，常闭夹丝机构(7)通过常闭夹丝机构托架(18)与微细电极丝辅助激振模块(17)下端相连，微细电极丝辅助激振模块(17)上端与连接块(16)下端相连，连接块(16)安装在导轨滑块(15)上，导轨滑块(15)通过连接块(16)与Z向伺服驱动主轴(13)相连，导轨滑块(15)和微细电极丝进给导向机构安装板(14)通过滑动连接，常开夹丝机构(8)和常开夹丝机构基座(11)的底面固接，常开夹丝机构基座(11)固定在微细电极丝进给导向机构安装板(14)上，导向管(12)、上陶瓷导向器(10)安装在常开夹丝机构基座(11)上，下陶瓷导向器(19)安装在常闭夹丝机构托架(18)上，导向管(12)、上陶瓷导向器(10)、下陶瓷导向器(19)与常开夹丝机构(8)和常闭夹丝机构(7)两者的夹丝部分在同一直线上，微细电极丝(9)从导向管(12)进入，穿过上陶瓷导向器(10)、常开夹丝机构(8)的夹丝部分、下陶瓷导向器(19)和常闭夹丝机构(7)的夹丝部分，再通过微细电极丝精密导向模块。微细电极丝精密导向模块主要由微细电极丝精密导向模块基座(6)、微细电极丝导向硅片底座(2)、微细电极丝导向硅片(1)以及弹性压丝机构(3)组成，微细电极丝精密导向模块基座(6)固定在微细电极丝进给导向机构安装板(14)上，微细电极丝导向硅片(1)固定在微细电极丝导向硅片底座(2)上，微细电极丝导向硅片底座(2)由电极丝导向硅片基座定位压片(20)压紧固定在微细电极丝精密导向模块基座(6)上，微细电极丝(9)被弹性压丝机构(3)约束在微细电极丝导向硅片(1)的精密V型导向槽(23)内。 【当前权利人】清华大学 【当前专利权人地址】北京市100084-82信箱 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400000624D 【引证次数】4.0 【被引证次数】1 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】19
