【摘要】 一种微机械电容式风速风向传感器，涉及传感技术，包括衬底、阻流 体、敏感梁、固定叉指、可动叉指、支撑体和引出电极。阻流体是被风吹 动的敏感结构；固定叉指和可动叉指构成四组相互正交的电容器，用作测 量结构；固定叉指支撑体提供固定叉指和引出电极的电连接并为固定叉指 提供支撑，可动叉指支撑体提供可动叉指和引出电极的电连接，并为阻流 体、敏感梁和可动叉指提供支撑，衬底为整个传感器的支撑结构。风力作 用阻流体使敏感梁弯曲形变，使固定叉指和可动叉指相对面积变化，引起 电容器电容改变，测量四组电容器输出电容的变化值可检测风速和风向。 本发明用电容作为测量信号，可同时测量风速和风向，具有结构简单、功 耗小、响应快、温漂小等优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院电子学研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080北京市海淀区北四环西路19号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810118731.0 【申请日】2008-08-20 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101655569A 【公开公告日】2010-02-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101655569B 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【发明人】赵湛; 韩有君; 杜利东; 方震 【主权项内容】1、一种微机械电容式风速风向传感器，包括衬底(1)、阻流体(2)、 敏感梁(3)、支撑体和引出电极(8)；其特征在于：还包括固定叉指(4)、 可动叉指(5)、固定叉指支撑体(6)、可动叉指支撑体(7)；其中， 衬底(1)为板状绝缘体，引出电极(8)固置于衬底(1)的上表面， 引出电极(8)的一侧通过引线分别与固定叉指支撑体(6)、可动叉指支 撑体(7)电连接； 阻流体(2)、敏感梁(3)、固定叉指(4)、可动叉指(5)、固定叉指 支撑体(6)、可动叉指支撑体(7)为导电体；阻流体(2)的一侧与多数 个片状可动叉指(5)固连，两端分别与两敏感梁(3)的一端固连，两敏 感梁(3)的另一端与可动叉指支撑体(7)固连，阻流体(2)、敏感梁(3)、 多数个可动叉指(5)悬空设置在衬底(1)上表面上方，可动叉指支撑体 (7)固置于衬底(1)的上表面；多数个片状可动叉指(5)相互平行设 置，其平行方向与阻流体(2)轴向正交； 固定叉指支撑体(6)的四个侧面顶端分别和多数个片状固定叉指(4) 固连，多数个固定叉指(4)和固定叉指支撑体(6)分别固置于衬底(1) 的上表面，位于衬底(1)中心部分；多数个片状固定叉指(4)相互平行 设置，其平行方向与固定叉指支撑体(6)的四个侧面正交； 阻流体(2)、敏感梁(3)、可动叉指(5)和可动叉指支撑体(7)围 于固定叉指(4)和固定叉指支撑体(6)四周；多数个片状固定叉指(4) 和多数个片状可动叉指(5)交叉配置，相互之间有一间隙，使两者构成 一电容器。 【当前权利人】中国科学院电子学研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区北四环西路19号 【统一社会信用代码】12100000400012406C 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
