【摘要】 本发明涉及一种金属微网格透明电极及其制备方法，该透明电极为有序的金属微网格状结构，该透明电极的金属微网格厚度为10-50nm；网格宽度为140-800nm；其孔径为1-6μm。其制备方法为：用单分散聚苯乙烯微球组装单层胶体晶体模板，然后利用磁控溅射技术，向模板缝间沉积金属，溅射时间5-10分钟；最后，经有机溶剂超声清洗20-30分钟去除聚苯乙烯微球模板，得到所述透明电极。本发明的透明电极的金属微网格状结构可以兼顾高透光率、低电阻和低成本等基本要素，在光电器件、光探测器以及半导体发光等方面有广泛的用途；本发明的制备方法工艺简单、易于操作。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京航空航天大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100083 北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学理学院材料物理和凝聚态物理中心 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810101641.0 【申请日】2008-03-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101246911B 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101246911B 【授权公告日】2010-06-09 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L31/0224; H01L31/18; H01L51/00; H01L51/44; H01L51/48; H01L51/52; H01L51/56; H01L23/48; H01L21/283; C23C14/04 【发明人】祁洪飞; 郝维昌; 王天民 【主权项内容】 一种金属微网格透明电极，其特征在于：该透明电极为有序的金属微网格状结构；其中，该透明电极的金属微网格厚度为10-45nm；该透明电极的金属微网格其网格宽度为140-740nm；该透明电极的金属微网格其孔径为1.2-5.6μm。 【当前权利人】北京航空航天大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学理学院材料物理和凝聚态物理中心 【统一社会信用代码】12100000400011227Y 【引证次数】2.0 【被引证次数】3 【他引次数】2.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】38
