【摘要】 本发明提供的一种扫描式表面介电微区分析仪及方法和应用于其中的探针，该分析仪 包括获得样品介电信息的测量模块、获得样品形貌信息的扫描定位模块和负责数据采集、处 理、显示、存储的计算机；介电测量模块包括通过电缆依次连接的交流信号发生器、下电 极、作为上电极的探针、电流电压转换与信号放大器和位相幅度比较器，样品置于探针和下 电极之间；计算机控制扫描定位模块将探针定位在需进行介电测量的位置；探针包括受扫描 定位模块控制的探针本体和连接于探针本体的针尖，该针尖包括中心导电针，该针尖还包括 包覆于导电针的绝缘层和包覆于绝缘层的屏蔽层。本发明的探针具有绝缘、屏蔽杂散电场干 扰和分流干扰电流的优点，提高了测量准确度。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京汇德信科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100083北京市海淀区五道口华清嘉园7号商务写字楼706室 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810147446.1 【申请日】2008-08-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101655439A 【公开公告日】2010-02-24 【公开公告年份】2010 【发明人】周向前; 杜文峰 【主权项内容】1、一种扫描式表面介电微区分析仪，包括获得样品的介电信息的 介电测量模块、获得样品的形貌信息的扫描定位模块和负责数据的采 集、处理、显示、存储的计算机及软件；所述的介电测量模块包括通过 电缆依次连接的交流信号发生器、连接样品的下电极、作为上电极的 探针、电流电压转换与信号放大器和位相幅度比较器，其中，所述的样 品置于探针和下电极之间；计算机控制扫描定位模块将探针定位在需 要进行介电测量的位置；所述的探针包括受扫描定位模块控制的探针 本体和连接于探针本体的针尖，该针尖包括中心导电层，还包括包覆 于中心导电层外的绝缘层和包覆于绝缘层外的屏蔽层，最外部的屏蔽 层由导电材料制成。 【当前权利人】北京汇德信科技有限公司 【当前专利权人地址】北京市海淀区五道口华清嘉园7号商务写字楼706室 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】9111010870019001XR 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
