【摘要】 一种检测测量数据非单峰分布的方法，包括：收集可接受检测的测量数据；选取测量数据中的最小数据值、次小数据值、中位偏小数据值、中位偏大数据值、次大数据值及最大数据值；对最小数据值与次小数据值之间的数据作第一回归直线；对中位偏小数据值与中位偏大数据值之间的数据作第二回归直线；对次大数据值与最大数据值之间的数据作第三回归直线；计算第一回归直线与X轴的交点x1、第二回归直线与X轴的交点x2、第三回归直线与X轴的交点x3中的最大值与中间值的差值和最大值与最小值的差值比Δ；将Δ与检测临界值Cα进行比较，以确定测量数据是否为非单峰分布。本发明还提供检测测量数据非单峰分布的装置。本发明提高统计过程控制的准确性。 【专利类型】发明授权 【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】大兴区 【申请号】CN200810105901.1 【申请日】2008-05-05 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101576747B 【公开公告日】2010-11-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101576747B 【授权公告日】2010-11-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G05B19/418 【发明人】简维廷; 王邕保 【主权项内容】一种检测测量数据非单峰分布的方法，其特征在于，包括下列步骤：收集可接受检测的测量数据，放置于两维坐标中；选取测量数据中的最小数据值、次小数据值、中位偏小数据值、中位偏大数据值、次大数据值及最大数据值；对最小数据值与次小数据值之间的数据作回归分析，得到第一回归直线；对中位偏小数据值与中位偏大数据值之间的数据作回归分析，得到第二回归直线；对次大数据值与最大数据值之间的数据作回归分析，得到第三回归直线；将第一回归直线延长与X轴相交于点x1、第二回归直线延长与X轴相交于点x2、第三回归直线与X轴相交于点x3；计算x1、x2、x3中的最大值与中间值的差值和最大值与最小值的差值的比值Δ；将Δ与检测临界值Cα进行比较，以确定测量数据是否为非单峰分布，所述检测临界值Cα是根据置信水平α计算出的统计临界值，置信水平是指总测量数据值落在样本统计值某一区内的概率。 【当前权利人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 【当前专利权人地址】北京市经济技术开发区文昌大道18号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】911103027404017237 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】2
