【摘要】 本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本发明适用于处理300mm硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240139.8 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101776386A 【公开公告日】2010-07-14 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】F27B1/10 【发明人】钟华; 赵星梅; 胡星强; 艾伦·埃马米 【主权项内容】一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于：该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆(1)、顶部绝缘子(2)、中部绝缘子(3)、底部绝缘子(4)，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块(5)和底块(5.1)上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度及底部绝缘子的厚度在圆周上依次递增或递减。以保证炉体上下底面水平。 【当前权利人】北京七星华创电子股份有限公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】1 【被自引次数】1.0 【家族被引证次数】1
