【摘要】 本发明公开了一种成膜载板及太阳能电池的生产方法，成膜载板上开有多个通孔，分纵、横多排布置，将成膜载板分割成多个区域，每个区域可以放置成膜的基片。在成膜工艺中，工艺气体可以从成膜载板的四周及通孔中均匀通过，提高气体在成膜载板上方的均匀性，从而提高成膜的均匀性。可以用在硅太阳能电池制作工艺中，在多晶硅层上沉积氮化硅减反射层，也可以用于其它的半导体加工中的薄膜制作工艺中。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810239693.4 【申请日】2008-12-15 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748378A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101748378B 【授权公告日】2011-12-07 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C16/24; C23C16/513; C23C16/455; H01L31/18; H01L21/00 【发明人】李永军 【主权项内容】一种成膜载板，其特征在于，该成膜载板上开有多个通孔。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】5
