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一种半导体传输系统中的真空锁专利

发布时间:2026-06-11

【摘要】 本发明公开了一种半导体传输系统中的真空锁,它包括:腔体和固定连接在 所述腔体上的上盖,其中,上盖的上表面凹设有一环形槽,使上盖的上表面于环 形槽内部形成一直径上大下小的圆盘形提手。因此,当需要提起上盖时,操作者 站在真空锁周围任一位置时提起上盖都非常方便。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810222415.8 【申请日】2008-09-16 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101677076A 【公开公告日】2010-03-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101677076B 【授权公告日】2011-04-06 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/67 【发明人】韦磊 【主权项内容】1、一种半导体传输系统中的真空锁,它包括:腔体和固定连接在所述腔体 上的上盖,其特征在于,所述上盖的上表面凹设有一环形槽,使所述上盖的上表 面于所述环形槽内部形成一直径上大下小的圆盘形提手。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】1

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  • 【摘要】本发明公开了一种移动终端中可视电话的自适应视频数据采集方法,所述方法包括:A、设置移动终端中可视电话在不同工作时间段的自适应视频数据采集模式;B、根据所述移动终端当前工作时段所对应的自适应视频数据采集模式,采集视频数据。同时,本发明
  • 【摘要】本发明公开了一种用于降血糖的中药滴丸及其制备方法,属于中医药领域。目的在于为广大患者提供新的用药选择,方便患者治疗。它是由丹参、白术、当归、赤芍、牛膝、党参、黄芪、黄精、白扁豆、白术共十味中药材为原料组成的滴丸剂。经药效试验研究结果