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一种半导体传输系统中的真空锁专利

发布时间:2026-06-11

【摘要】 本发明公开了一种半导体传输系统中的真空锁,它包括:腔体和固定连接在 所述腔体上的上盖,其中,上盖的上表面凹设有一环形槽,使上盖的上表面于环 形槽内部形成一直径上大下小的圆盘形提手。因此,当需要提起上盖时,操作者 站在真空锁周围任一位置时提起上盖都非常方便。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810222415.8 【申请日】2008-09-16 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101677076A 【公开公告日】2010-03-24 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101677076B 【授权公告日】2011-04-06 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/67 【发明人】韦磊 【主权项内容】1、一种半导体传输系统中的真空锁,它包括:腔体和固定连接在所述腔体 上的上盖,其特征在于,所述上盖的上表面凹设有一环形槽,使所述上盖的上表 面于所述环形槽内部形成一直径上大下小的圆盘形提手。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】1

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  • 【摘要】本发明涉及一种清洗液组合物及其用途,主要解决现有技术中乳化型水溶性清洗剂在无外力搅拌情况下自乳化能力不足、易堵塞设备的问题的。本发明通过采用以重量百分比计包括以下组份:a)0.5~20%的脂肪醇聚氧乙烯醚;b)0.1~10%的烷基酚