【摘要】 本发明公开了一种匹配器及等离子体设备，匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，在传感器与匹配网络之间或之后加入变压器，可以通过变压器与可变阻抗器件的配合设置预设值，在工艺过程初始使等离子体处于较稳定的起辉状态；还可以通过变压器的初级线圈和次级线圈的变化，以对应不同的工艺气体和工况，使等离子体稳定迅速地起辉，并缩短匹配时间，能够提高晶圆处理的效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240188.1 【申请日】2008-12-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101754567A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H05H1/46; H01J37/32 【发明人】陈鹏 【主权项内容】一种匹配器，其特征在于，该匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，所述输入端与输出端之间设有变压器。 【当前权利人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】5 【被自引次数】4.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】5
