【摘要】 本发明涉及一种薄膜材料技术领域的薄膜材料微拉伸测试系统，包括样品台、样品结构、驱动机构和测量观察装置。样品台中的金属底座被吸附在真空吸附台上，然后通过铆接固定在XYZθ移动平台上面；样品结构中的移动平台通过支撑弹簧和支撑架相连，薄膜试样的一端与移动平台相连，另一端固定在支撑架上，标杆位于移动平台上靠近薄膜试样的一端；驱动机构中的拉伸杆的一端与力学传感器连接，另一端与XYZ移动平台固定，电磁驱动马达与XYZ移动平台相连。本发明部件制备工艺简单，操作方便，成本低，具有很好的线性，并且克服了拉伸过程中由支撑梁塑性变形而引起的实验误差。 【专利类型】发明授权 【申请人】上海交通大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】200240 上海市闵行区东川路800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】上海市 【申请人区县】闵行区 【申请号】CN200810034285.5 【申请日】2008-03-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101241057B 【公开公告日】2010-07-28 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101241057B 【授权公告日】2010-07-28 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N3/00 【发明人】丁桂甫; 刘瑞; 李雪萍; 汪红; 杨春生 【主权项内容】一种薄膜材料微拉伸测试系统，包括样品台、样品结构、驱动机构和测量观察装置，样品结构被固定在样品台上，右端与驱动机构相连，测量观察装置一部分置于样品结构的上方，其特征在于：所述样品台包括金属底座、XYZθ移动平台和真空吸附台，金属底座被吸附在真空吸附台上，真空吸附台通过铆接固定在XYZθ移动平台上面；所述样品结构包括支撑架、薄膜试样、标杆、支撑弹簧和移动平台，移动平台通过支撑弹簧和支撑架相连，薄膜试样的一端与移动平台相连，另一端固定在支撑架上，标杆位于移动平台上靠近薄膜试样的一端；所述驱动机构包括力学传感器、拉伸杆、电磁驱动马达和XYZ移动平台，拉伸杆的一端与力学传感器连接，另一端与XYZ移动平台固定，电磁驱动马达与XYZ移动平台相连。 【当前权利人】上海交通大学 【当前专利权人地址】上海市闵行区东川路800号 【统一社会信用代码】1210000042500615X0 【引证次数】3.0 【被引证次数】2 【他引次数】3.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】32
