【摘要】 本发明提出一种蚀刻液浓度控制方法，其步骤包括：监控蚀刻液的浓度变化值；比例化该浓度变化值而得比例值；比例化该浓度变化值的时间积分值而得比例积分值；比例化该浓度变化值的时间微分值而得比例微分值；以及根据该比例值、该比例积分值及该比例微分值，补充该蚀刻液。本发明采用积分、微分以及比例化等计算方式得到酸碱药液的补充量，以进行补药维持蚀刻液浓度。 【专利类型】发明申请 【申请人】浩硕科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县中坜市中坜工业区自强一路11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810172044.7 【申请日】2008-10-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101727023A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G03F7/30; G05D11/00; G01N31/16; G01N21/25 【发明人】陈志行 【主权项内容】一种蚀刻液浓度控制方法，其步骤包括：设定蚀刻液的目标浓度值；测量所述蚀刻液得到测量浓度值；根据所述目标浓度值与所述测量浓度值，而计算出差值；比例化所述差值而得比例值；比例化所述差值的时间积分值而得比例积分值；比例化所述差值的时间微分值而得比例微分值；及根据所述比例值、所述比例积分值及所述比例微分值，补充所述蚀刻液浓度至所述目标浓度值。 【当前权利人】浩硕科技股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县中坜市中坜工业区自强一路11号 【引证次数】1.0 【被引证次数】9 【他引次数】1.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】9
