【摘要】 本发明涉及一种具有防止研磨面脱落的沟槽结构的研磨垫，其包括：基材和研磨层。 所述基材具有表面。所述研磨层设置于所述表面上且显露所述基材周缘的部分所述表 面，所述研磨层具有多个第一沟槽和多个第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽相交， 以界定多个研磨区域。显露的所述基材周缘的部分所述表面位于所述第一沟槽和所述第 二沟槽与所述研磨垫周缘之间。借此，本发明的所述研磨垫可蕴含较多的研磨液且利于 研磨残屑的排除，并且，所述研磨层不具有尖角的结构且不易脱落而成为残屑，因此可 增加研磨质量和研磨效果。 【专利类型】发明申请 【申请人】贝达先进材料股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810126866.1 【申请日】2008-07-10 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101623854A 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【发明人】冯崇智; 刘玮得; 洪永璋; 王俊达; 姚伊蓬 【主权项内容】1.一种具有防止研磨面脱落的沟槽结构的研磨垫，其包括： 基材，其具有表面；以及 研磨层，其设置于所述表面上且显露所述基材周缘的部分所述表面，所述研磨层 具有多个第一沟槽和多个第二沟槽，所述第一沟槽与所述第二沟槽相交，以界定多 个研磨区域，显露的所述基材周缘的部分所述表面位于所述第一沟槽和所述第二沟 槽与所述研磨垫周缘之间。 【当前权利人】贝达先进材料股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县 【被引证次数】5 【家族被引证次数】5
