【摘要】 本发明公开了一种有机玻璃门的快速升降机构，涉及快速热处理炉，属于半导体制造领域。该结构包括：一对直线运动导轨副，两导轨支架，两导轨滑块支架。一气缸，一有机玻璃门。有机玻璃门与导轨滑块通过螺钉固定连接，导轨支架与机器体垂直固定连接，气缸再与滑块支架固定连接，气缸的顶升驱动力使玻璃门上升，气缸收回，有机玻璃门下降。直线运动导轨副运动精度高，气缸作为驱动力源，驱动力大，动作简单。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224641.X 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728231A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101728231B 【授权公告日】2012-07-04 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L21/00; H01L21/324; F27D1/18; E05F15/08; E05F15/57 【发明人】伍三忠; 袁卫华; 龙会跃 【主权项内容】一种有机玻璃门的快速升降机构，其特征在于：两个直线运动导轨副、一个驱动用气缸，两个导轨滑块支架，一有机玻璃门。有机玻璃门与导轨滑块通过螺钉固定连接，导轨支架与机器体垂直固定连接，气缸再与滑块支架固定连接 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】5
