【摘要】 本发明为一种探针卡校正设备，其中，移动平台可通过基座上的第一 导引装置以滑移于显微装置、及高度量测装置二处的下方，探针卡则夹固 于移动平台上。本发明可先利用显微装置与比对装置以对移动平台上的探 针卡先进行纵向、及横向的校正与调针工作；继而，将移动平台沿着第一 导引装置移动至高度量测装置下方，再以高度量测器对探针卡继续进行高 度量测，更可以控制器纪录每一探针的高度，如此周而复始，调针人员便 可精准、方便、迅速地于同一调针机台完成探针卡校正工作。 【专利类型】发明申请 【申请人】京元电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810135817.4 【申请日】2008-07-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101629808A 【公开公告日】2010-01-20 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101629808B 【授权公告日】2011-05-18 【授权公告年份】2011.0 【发明人】黄钧鸿; 刘尚达 【主权项内容】1、一种探针卡校正设备，包括： 一基座，包括有一第一导引装置，该第一导引装置包括有一第一端、 及一第二端； 一移动平台，包括有一第二导引装置、及一旋转载台，该移动平台通 过该第二导引装置对应滑设于该基座的该第一导引装置上、并相对滑移于 该第一端与第二端之间，该旋转载台组设于移动平台上并能相对旋转，该 旋转载台上设置有至少一夹具； 一比对装置，组设于该基座上并邻近该第一导引装置的该第一端，该 比对装置包括有一比对罩，该比对罩选择式地移行于一调针侧与一准备侧 之间，该比对罩包括有一透明片，该透明片上包括有一比对区，该比对区 内标记有至少一比对记号； 一显微装置，包括有一支架、一滑动块、一低倍显微镜、及一影像撷 取器，该支架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第一端上方， 该滑动块滑设于该支架上，该低倍显微镜及该影像撷取器分别组设于该滑 动块上；以及 一高度量测装置，包括有一固定架、一移动块、及一高度量测器，该 固定架固设于该基座上并跨架于该第一导引装置的该第二端上方，该移动 块滑设于该固定架上，该高度量测器组设于该移动块上。 【当前权利人】京元电子股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【被引证次数】6 【家族被引证次数】6
