【摘要】 一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片,第一镜片为一双凸形镜片及 第二镜片为一双凹形镜片所构成,其中第一镜片具有二个光学面,在主扫描 方向至少有一个光学面为非球面所构成,第二镜片具有二个光学面,在主扫 描方向至少有一个光学面为非球面所构成,主要将微机电反射镜反射的角度 与时间为非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光 点,并修正聚光于目标物上,且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件, 通过第一镜片及第二镜片的设置,可达成线性扫描效果与高分辨率扫描的目 的。 【专利类型】发明申请 【申请人】一品光学工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台北市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810210439.1 【申请日】2008-08-15 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101650473A 【公开公告日】2010-02-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101650473B 【授权公告日】2011-05-11 【授权公告年份】2011.0 【发明人】施柏源 【主权项内容】1、一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片,其适用于一微机电激光 扫描装置,该微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、一用以 共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用 以感光的目标物;该二片式fθ镜片包含,由该微机电反射镜依序起算,由一 双凸形的第一镜片及一双凹形的第二镜片所构成,其中该第一镜片具有一第 一光学面及一第二光学面,该第一光学面与该第二光学面在主扫描方向至少 有一个光学面为非球面所构成,将该微机电反射镜反射的角度与时间非线性 关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点;其中该 第二镜片具有一第三光学面及一第四光学面,该第三光学面与该第四光学面 在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成,将该第一镜片的扫描光线 修正聚光于该目标物上;通过该二片式fθ镜片将该微机电反射镜反射的扫描 光线在该目标物上成像。 【当前权利人】一品光学工业股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾台北市