【摘要】 本发明公开了一种电容耦合式射频电浆源，其为一种大面积电容耦合式射频电浆源，其仅使用一射频电源供应器，而使射频功率以双端口的方式输入，并且每端口的输入阻抗可以个别调整，用以消除驻波效应，并达成电浆的均匀化。 【专利类型】发明申请 【申请人】财团法人工业技术研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】中国台湾新竹县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810187755.1 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101770922A 【公开公告日】2010-07-07 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101770922B 【授权公告日】2011-08-03 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01J37/32; H01J31/18; H05H1/46; C23C16/44 【发明人】张志振; 吴东权; 罗展兴; 吴庆辉; 黄振荣; 梁沐旺; 张家豪 【主权项内容】一种电容耦合式射频电浆源，其特征在于，包括：一第一输入端口，耦接至一矩形电极；一第二输入端口，耦接至该矩形电极；一第一阻抗调节器，耦接至该第一输入端口；一第二阻抗调节器，耦接至该第二输入端口；一阻抗匹配电路，分别耦接至该第一阻抗调节器与该第二阻抗调节器；以及一射频电源供应器，耦接至该阻抗匹配电路。 【当前权利人】财团法人工业技术研究院 【当前专利权人地址】中国台湾新竹县 【引证次数】1.0 【被引证次数】2 【他引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】2
