【摘要】 本发明是有关于一种集成电路结构,包括有钝化层;穿孔设于钝化层中;含铜通道形成于穿孔中;高分子层形成于钝化层上,其中高分子层包括有一开口,并暴露出含铜通道;后端钝化连接(PPI)线形成于高分子层中,其中后端钝化连接线延伸至此开口中,并物理性地接触于含铜通道;以及底凸块金属层形成于后端钝化连接线上,并电性连接于后端钝化连接线。本发明提出的集成电路结构,可减少电阻电容延迟(RC-Delay)效应和减少制程成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】台湾积体电路制造股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810089215.X 【申请日】2008-04-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101425493B 【公开公告日】2010-11-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101425493B 【授权公告日】2010-11-17 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01L23/485; H01L23/522 【发明人】游秀美; 郭祖宽; 杨斐杰; 陈世明; 郑嘉仁 【主权项内容】一种集成电路结构,其特征在于其至少包括:一钝化层;一穿孔,设于该钝化层中;一含铜通道,形成于该穿孔中;一高分子层,覆盖于该钝化层上,其中该高分子层包括有一开口,其暴露出该含铜通道;一后端钝化连接线,形成于该高分子层中,其中该后端钝化连接线延伸至该开口中,并物理性地接触于该含铜通道;以及一底凸块金属层,形成于该后端钝化连接线上,并电性连接于该后端钝化连接线。 【当前权利人】台湾积体电路制造股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 【引证次数】2.0 【被引证次数】2 【他引次数】2.0 【被自引次数】2.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】114