【摘要】 本发明公开了一种高能离子注入机加速器，该加速器包括以下部分：十个加速电极、一抑制电极、十一个卡圈、十个绝缘环、一低压法兰、一高压法兰、八根拉杆、十一个均压环、一接线杆。十个加速电极与低压法兰、绝缘环通过拉杆连接在一起；低压法兰端设有一个抑制电极；相邻各个加速电极之间用绝缘环隔离，采用密封圈真空密封；均压环为圆环形金属管，用卡圈固定于各加速电极的外缘。本发明最大特点是加速能力强，并采用等梯度工作方式，使电场更加均匀，加速电极采用迷宫式组合结构，有效防止带电粒子在加速过程中打到加速器的绝缘内壁上而造成的污染。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224646.2 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728203A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01J37/30; H01J37/317; H01L21/265 【发明人】唐景庭; 孙勇; 彭立波 【主权项内容】一种高能离子注入机加速器结构包括：十个加速电极、一低压法兰、一抑制电极、十一个卡圈、十个绝缘环、一高压法兰、八根拉杆、十一个均压环、一接线杆，其特征在于：加速电极采用迷宫式结构设计十个加速电极、低压法兰、绝缘环通过拉杆连接；低压法兰端设有一个抑制电极；相邻加速电极之间，设有绝缘环，并采用密封圈真空密封；均压环为圆环形金属管，用卡圈固定于十个加速电极的外缘。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】3 【被自引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】3
