【摘要】 本发明涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样的椭偏成像方法和装置。所述方法包括如下步骤：对系统进行设置；图像传感器进行时间积分曝光；对数据进行转换、传输、处理和存储；对采集到的数据进行计算。所述装置包括：入射单元；出射单元；数据采集处理单元；数据采集处理单元通过硬触发的方式来触发出射单元获得样品的椭偏图像。本发明利用时间积分方法进行采样大幅度提高了系统的时间分辨率即减少了采样时间；采用匀速旋转相位补偿器达到了稳定的目的，能够保证操控精度。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院力学研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080 北京市海淀区北四环西路15号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810102271.2 【申请日】2008-03-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101246122B 【公开公告日】2010-07-14 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101246122B 【授权公告日】2010-07-14 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G01N21/21; G01B11/06; G06T1/00 【发明人】靳刚; 孟永宏 【主权项内容】一种采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤A：对系统进行设置；步骤A具体包括：a.设置1个采样周期180°内角度均分的采样单元个数N；b.设置测量中需要重复的采样次数M；步骤B：图像传感器进行时间积分曝光；步骤B具体包括：c.电子计算机(42)通过驱动控制箱(41)驱动相位补偿器旋转台(13)进行匀速旋转；d.角度编码器(15)等角度间隔180°/N地输出位置信号脉冲经控制箱(41)处理后的脉冲信号同步触发图像传感器(33)进行光学图像的时间积分曝光，然后形成电子图像；步骤C：对数据进行转换、传输、处理和存储；步骤C具体包括：e.数据采集器(43)把图像传感器(33)的数字信号传输给电子计算机(42)，然后由电子计算机(42)进行图像数据的运算、处理和/或存储；f.重复步骤d.-e.，直至完成采样个数N×M；步骤D：对采集到的数据进行计算；步骤D具体为：g.根据图像中每个像素测量到的光能量值与椭偏参数的关系，计算样品上对应区域的椭偏参数值。。微信 【当前权利人】中国科学院力学研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区北四环西路15号 【统一社会信用代码】1210000040001222XA 【家族被引证次数】7
