【摘要】 本发明公开了一种晶片冷却台，涉及快速热处理炉，属于半导体制造领域。该结构包括：本发明采用一支柱与圆柱环连接，圆环上三个石英顶针拖放晶片，冷却氮气从支柱上的终端接头进入支柱内的通孔中，再从腔体与内空的圆柱腔体体中网孔板中吹送到晶片背面，气流淋浴冷却晶片，同时冷却台上装有一个光电耦合开关，通过继电器互锁自动检测晶片是否在冷却台上。本发明晶片冷却迅速，冷却均匀性好，光电耦合开关能检测晶片在位状态。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810224648.1 【申请日】2008-10-22 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101728233A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01L21/00; H01L21/324; H01L21/66; F27D9/00 【发明人】唐景庭; 袁卫华; 龙会跃 【主权项内容】一种晶片冷却台，其结构特征在于：本发明采用圆柱环上三个石英顶针拖放晶片，冷却氮气从支柱上的终端接头进入支柱内的通孔中，再从腔体与内空的圆柱腔体体中网孔板中吹送到晶片背面，氮气流淋浴冷却晶片，同时冷却台上装有一个光电耦合开关，通过继电器互锁自动检测晶片是否在冷却台上。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3
