【摘要】 本发明公开了一种等离子体产生装置，包括：外壳(12)、外壳(12)内部为真空腔体、与外壳(12)同轴放置的亥姆霍兹线圈(11)、位于外壳(12)内的阴极(9)及位于外壳(12)内、与阴极(9)相对的阳极(10)；阴极(9)采用沿轴向开口的空心金属管结构，其开口方向与阳极(10)相对，阴极(9)与阳极(10)平行设置。本装置采用磁约束线形空心阴极放电方式产生高密度大面积的等离子体片，具有空心阴极增强等离子体密度的作用，使阴阳电极间形成均匀的、密度在1012cm-3以上、几何尺寸在60cm×60cm以上、厚度维持在2cm左右的等离子体片(13)。大面积高密度的等离子体在材料表面处理，等离子体与电磁波相互作用的研究等方面有巨大优势。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院空间科学与应用研究中心 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100084 北京市海淀区中关村南二条1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810224783.6 【申请日】2008-12-26 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101772253A 【公开公告日】2010-07-07 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101772253B 【授权公告日】2013-06-26 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H05H1/50; H01J37/32 【发明人】程芝峰; 徐跃民; 孙海龙; 吴逢时; 丁亮; 王之江; 孙简 【主权项内容】一种等离子体产生装置，包括：一外壳(12)、一与外壳(12)同轴放置的亥姆霍兹线圈(11)、一位于外壳(12)内的阴极(9)及一位于外壳(12)内、与阴极(9)相对的阳极(10)；所述阳极(10)是平板电极；所述外壳(12)内部为真空腔体；其特征在于，所述阴极(9)采用沿轴向开口的空心金属管结构，所述开口方向与阳极(10)相对；所述阴极(1)与阳极(2)平行设置。 【当前权利人】中国科学院空间科学与应用研究中心 【当前专利权人地址】北京市海淀区中关村南二条1号 【被引证次数】13 【被自引次数】6.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】13
