【摘要】 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，由制作于半 导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢 光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧 相邻的两行空气孔的直径都略小于周围光子晶体的空气孔直径；慢光波导 结构与输出波导结构中间为啁啾波导结构，该啁啾波导结构内侧相邻两行 空气孔的直径从与慢光波导结构空气孔直径相同而逐渐变小，直到与输出 波导结构的空气孔直径相同。本发明提供的边发射激光器，采用光子晶体 波导的带边慢光模式，突破了缺陷腔模式体积受限制的瓶颈，利用啁啾波 导结构，将慢光模式高效转换为正常群速度导波模式，使得边发射激光的 输出效率得到大幅提高。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810117070.X 【申请日】2008-07-23 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101635433A 【公开公告日】2010-01-27 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101635433B 【授权公告日】2011-04-06 【授权公告年份】2011.0 【发明人】郑婉华; 邢名欣; 任刚; 刘安金; 陈微; 周文君; 陈良惠 【主权项内容】1、一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，其特征在于，该边发 射激光器由制作于半导体材料上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个 部分，左边部分为慢光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构， 该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周围光子晶体的 空气孔直径；慢光波导结构与输出波导结构中间为啁啾波导结构，该啁啾 波导结构内侧相邻两行空气孔的直径从与慢光波导结构空气孔直径相同 而逐渐变小，直到与输出波导结构的空气孔直径相同。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】8 【被自引次数】3.0 【家族被引证次数】8
