【摘要】 本发明公开了一种利用声表面波器件测试气体浓度的方法，利用声表面波气体传感器在吸附被测气体前后，声表面波在其上传播速度的不同，来定量得到被测气体的浓度。其主要步骤为：使用信号发生器在双端对声表面波气体传感器一侧发射一短脉冲信号，并用示波器的不同通道对声表面波气体传感器两端同时进行检测，再根据检测结果同被测气体的浓度联系起来，进行标定。利用这种方法可以方便的对各种声表面波气体传感器进行测试。这种方法具有所需设备少，简单，稳定可靠，用途多，误差小的优点。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院微电子研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100029 北京市朝阳区北土城西路3号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810224903.2 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726539A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101726539B 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N29/036 【发明人】李昊峰; 贾锐; 李维龙; 陈晨; 朱晨昕 【主权项内容】一种利用声表面波器件测试气体浓度的方法，其特征在于，该方法包括：步骤101：在压电晶体衬底上蒸镀三个互相平行且具有一定间隔的叉指换能器，分别记为第一换能器、第二换能器和第三换能器；步骤102：在第二换能器与第三换能器之间蒸镀一层宽度为d的敏感膜，该敏感膜能够吸附被测气体；步骤103：将第一换能器连接于信号发生器，将第二换能器和第三换能器分别连接于示波器的两个通道，构成测试设备，并将测试设备放入试验容器中；步骤104：在容器中无被测气体时，信号发生器发射一脉冲信号，第一换能器将此脉冲信号通过压电晶体衬底传给第二换能器和第三换能器，在示波器中显示第二换能器与第三换能器接收信号的时间间隔t11；步骤105：在容器中充入一定浓度的被测气体时，信号发生器再发射一脉冲信号，第一换能器将此脉冲信号通过压电晶体衬底传给第二换能器和第三换能器，在示波器中显示第二换能器与第三换能器接收信号的时间间隔t22；步骤106：根据测得的时间间隔t11、t12以及敏感膜的宽度d，计算脉冲信号在有无被测气体时在敏感膜中传输速度的变化量Δv；步骤107：重复执行步骤105和106，得到声表面波速度变化与被测气体浓度之间的对应关系；步骤108：在检测未知浓度的气体时，首先测量并计算声表面波速度的变化值，然后根据步骤107得到的速度变化与被测气体浓度的对应关系，得到被测气体的浓度。 【当前权利人】中科芯未来微电子科技成都有限公司 【当前专利权人地址】四川省成都市双流区东升街道成都芯谷产业园区(1号楼)集中区内 【统一社会信用代码】12100000400834434U 【被引证次数】14 【被自引次数】3.0 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】14
