【摘要】 本发明提供一种基片承载装置和等离子体加工设备，所述基片承载装置包括电极板和电极板上的载板，所述载板包括：支撑基片的网架，网架分割出的至少两个网格。此外，还包括：固定连接于所述网架背向所述电极板一面的、能够约束放置在网架上的基片位置的分隔部件。所述电极板包括：电极板本体，所述电极板本体表面的、至少两个能够插入所述网格内的凸起，相邻凸起之间的、能够将所述网架置入其中的凹道；其中，所述凹道的深度大于所述网架的厚度。采用所述基片承载装置能够减少基片加工过程中能源的消耗，进而降低生产成本。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810224714.5 【申请日】2008-12-09 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101413114B 【公开公告日】2010-09-15 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101413114B 【授权公告日】2010-09-15 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】C23C16/458; C23C16/513 【发明人】苏晓峰 【主权项内容】一种基片承载装置，包括电极板和电极板上的载板，其特征在于，所述载板包括：支撑基片的网架，网架分割出的至少两个网格；所述电极板包括：电极板本体，所述电极板本体表面的、至少两个能够插入所述网格内的凸起，相邻凸起之间的、能够将所述网架置入其中的凹道；其中，所述凹道的深度大于所述网架的厚度。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【家族被引证次数】5
