【摘要】 本发明公开了一种陶瓷件及其制造方法及半导体加工设备，将经过烧结和机加工的陶瓷件首先进行清洗；然后将陶瓷件用水蒸气加热至95℃以上，或用纯水或超纯水煮沸，进行水合处理；再进行干燥处理。在陶瓷件的表面形成疏水层，既能提高陶瓷件表面的致密性、又提高陶瓷件的耐腐蚀性。将陶瓷件安装在半导体加工设备的工艺腔室中，可以缩短工艺腔室的维护时间和真空状态恢复时间。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240102.5 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101747087A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】C04B41/81; C04B35/10; C04B35/505; C04B35/48; C04B35/622; C04B35/50 【发明人】康明阳 【主权项内容】一种陶瓷件，其特征在于，所述陶瓷件的表面设有疏水层。 【当前权利人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1
