【摘要】 本发明公开了一种射频装置，包括依次连接的射频电源、射频匹 配器以及电感耦合线圈，所述电感耦合线圈包括中心线圈以及围绕所 述中心线圈的至少一组外周线圈；所述中心线圈以及各所述外周线圈 相互独立，且各线圈中射频电流的比例能够调整。本发明还公开了一 种包括上述射频装置的等离子体处理设备。本发明所公开的射频输送 方法通过至少两个相互独立的电感耦合线圈分别向反应腔室的中心部 位和外周部位输入射频能量，并根据各部位中等离子体的浓度调整各 线圈中射频电流的比例。由于实现了射频能量的分区输送以及分区控 制，可以提高所述反应腔室径向上等离子体的均匀性，进而确保等离 子体处理设备对加工件进行的精细处理顺利完成。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810222559.3 【申请日】2008-09-19 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101677485A 【公开公告日】2010-03-24 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H05H1/46; H01J37/32 【发明人】陈鹏 【主权项内容】1、一种射频装置，用于等离子体处理设备，包括依次连接的射 频电源、射频匹配器以及电感耦合线圈，其特征在于，所述电感耦合 线圈包括位于所述等离子体处理设备反应腔室顶部中心位置的中心线 圈，以及围绕所述中心线圈并沿所述反应腔室顶部径向分布的至少一 组外周线圈；所述中心线圈以及各所述外周线圈均相互独立，且各线 圈中射频电流的比例能够调整。。 【当前权利人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】4 【被自引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】4
