【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体，设有主体、顶盖、基 座，主体为一直立圆筒形，由内到外依次设有炉丝、炉丝支撑件、保温棉层、 内壁、冷却管、外壁，炉丝由炉丝支撑件支撑固定，保温棉层设置在内壁内 侧，在内壁和外壁之间设置冷却管；设有多个热电偶、炉丝引线穿过保温层、 内壁、外壁，横向固定在内壁上；在主体上口沿设有环形顶块，顶块中间设 有顶盖，下口设有底块，顶盖、顶块、保温棉、底块组成保温层，保温层固 定在内壁上；冷却管和外壁也固定在内壁上；内壁固定在基座上，基座上设 有冷却密封槽和进出水口。本实用新型适用于300mm硅片进行氧化、退火 等工艺，温度控制精确，具有高质量、高寿命、高效率的特点。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820124688.4 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382675Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382675Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】钟华; 盛金龙; 程朝阳; 胡星强; 艾伦·埃马米 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉炉体，设有主体、顶盖、基座，其特征在于： 所述主体为一直立圆筒形，由内到外依次设有炉丝(8)、炉丝支撑件(7)、 保温棉层(6)、内壁(3)、冷却管(4)、外壁(5)，所述炉丝在主体内由上 到下多圈环绕，由炉丝支撑件支撑固定，保温棉层设置在内壁内侧，在内壁 和外壁之间设置上下迂廻弯曲的冷却管；冷却管设有冷却水进出水口(15)； 设有多个热电偶(11)、炉丝引线(12)穿过保温层、内壁、外壁，横向固 定在内壁上，热电偶里端到达测温位置，炉丝引线里端焊接在炉丝上；在主 体上口沿设有环形顶块(2)，该顶块中间设有顶盖(1)，在主体的下口设有 环形底块(9)，所述顶盖、顶块、保温棉、底块组成保温层，该保温层通过 顶块和底块固定在内壁上；冷却管和外壁也固定在内壁上，外壁将冷却管包 覆起来；内壁固定在基座(10)上，该基座上设有冷却密封槽(14)和进出 水口(13)。 【当前权利人】北方华创科技集团股份有限公司; 北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】; 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】3 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】3
