【摘要】 本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制备方法及薄膜太阳能电池，首先在玻璃、塑料、不锈钢或陶瓷等衬底材料上通过制绒或固定绒面形模具的方法形成陷光结构；然后在陷光结构上依次制备透明前电极、吸收层、背电极等。去掉了TCO膜的制绒步骤，能够有效避免TCO制绒工艺的复杂性，降低工艺复杂度以及生产成本，有利于实现薄膜太阳能电池的低成本、工业化生产。可以用于制备硅基薄膜太阳能电池、碲化镉薄膜太阳能电池或铜铟镓锡薄膜太阳能电池等。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810225927.X 【申请日】2008-11-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101740658A 【公开公告日】2010-06-16 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01L31/18; H01L31/042 【发明人】徐亚伟 【主权项内容】一种薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括步骤：首先，在衬底材料上制备陷光结构；然后，在所述陷光结构上依次制备透明前电极、吸收层、背电极。 【当前权利人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6
