【摘要】 本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本发明适用于300mm立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240138.3 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101813411A 【公开公告日】2010-08-25 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101813411B 【授权公告日】2012-05-23 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】F27B1/10 【发明人】钟华; 董金卫; 胡星强; 艾伦·埃马米 【主权项内容】一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的旁边设计有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝缘、耐热材料制成。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【家族引证次数】5.0
