【摘要】 本发明提供一种等离子体加工设备，包括装载腔室、传输腔室、N个工艺腔室(N为大于等于1的整数)、卸载腔室。其中，传输腔室串接于装载腔室和卸载腔室之间，其侧面并行地连接N个工艺腔室。传输腔室利用设置于其中的纵向传动部和横向传动部可同时为并行设置的N个工艺腔室传输工件。各个工艺腔室独立完成整个工艺，且相互之间不受影响。因此，本发明提供的等离子体加工设备能够在提高产品质量、节约设备成本的同时，有效提高设备产能。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810240162.7 【申请日】2008-12-18 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748386A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101748386B 【授权公告日】2013-06-05 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】C23C16/44 【发明人】蒲春 【主权项内容】一种等离子体加工设备，包括装载腔室、N个工艺腔室、卸载腔室，其中N为大于等于1的整数，其特征在于，所述等离子体加工设备还包括串接于装载腔室和卸载腔室之间的传输腔室，所述传输腔室侧面并行连接所述N个工艺腔室。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91110302801786752A 【被引证次数】11 【被他引次数】11.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】11
