【摘要】 本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉的报警系统，其特征在于： 设有冷却系统水流量报警装置、工艺气体压力报警装置、源温控制与漏液报 警装置、工艺气体泄漏报警装置、内环境压力报警装置、设备安全门互锁报 警装置、外点火器火焰检测报警装置和可编程控制器PLC、上位机；所述控 制器PLC与上位机连接。本实用新型适用于立式氧化炉的运行安全报警， 结构完善，控制集中灵活，能保证立式氧化炉的安全正常地运行和操作人员 的安全，并提高工艺的质量和效率。 【专利类型】实用新型 【申请人】北京七星华创电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200820234109.1 【申请日】2008-12-31 【申请年份】2008 【公开公告号】CN201382681Y 【公开公告日】2010-01-13 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN201382681Y 【授权公告日】2010-01-13 【授权公告年份】2010.0 【发明人】程朝阳; 曾艳丽; 王晓卫; 米奇.阿伽穆罕默德 【主权项内容】1、一种300mm立式氧化炉的报警系统，其特征在于：设有冷却系统水流量报警装置、 工艺气体压力报警装置、源温控制与漏液报警装置、工艺气体泄漏报警装置、内环境压力 报警装置、设备安全门互锁报警装置、点火器火焰检测报警装置； 所述冷却系统水流量报警装置设有流量计组，该流量计组中的流量计(1.2)分别与 立式氧化炉的石英管法兰(11)、外点火器(6)、石英舟(13)、炉体法兰(14)、工艺门(15)、 炉体(16)、PTI冷凝器(19)的水冷却管连通，并且该所有流量计(1.2)都集中安装在水 盒(1)中，在该水盒底部设置有进行液位检测的光电传感器(1.1)，该流量计及光电传感 器与可编程控制器PLC(10)进行连接； 所述工艺气体压力报警装置，包括气体压力传感器组，该压力传感器(2.2)设置在工 艺气体：氮、氢、氧和一氧化氮的管路中，设有气路箱(2)，所述气体压力传感器都集中 安装在该气路箱里，气路箱还设置有门开关(2.1)，所述气体压力传感器及门开关与可编 程控制器PLC(10)连接； 所述源温控制与漏液报警装置，设有源温控制器(5.2)和流量开关(5.1)，该源温控 制器和流量开关设置在工艺液体的液源管路上，并设有漏液检测传感器(5.4)，还设有源 温控制器盒(5)，所述源温控制器、流量开关、检测传感器都集中安装在该控制器盒内， 该控制器盒设有门开关(5.3)，该门开关及所述源温控制器、检测传感器与可编程控制器 PLC(10)连接； 所述工艺气体泄漏报警装置，包括在炉口处设置的HCL检测传感器(8.1)，在外点火 器(6)处设置的H2检测传感器(6.1)、在源温控制器上设置的HCL检测传感器(5.5)、 在气路盒(2)内部设置的H2(2.3)和NO(2.4)检测传感器；所述传感器与控制器组(3) 及可编程控制器PLC(10)连接； 所述内环境压力报警装置，包括控制气路柜排气出口(7)、炉体排气出口(9)、炉口 排气出口(8)排气压力的压差计组(4)，该压差计组与控制器PLC连接； 所述设备安全门互锁报警装置，包括在后检修门上安装的门开关(12)，和氧气分析仪 (18)，该门开关及氧气分析仪与控制器PLC(10)连接； 所述外点火器火焰检测报警装置，包括在外点火器(6)处设置的火焰检测器(6.2)。 该火焰检测器与可编程控制器PLC(10)连接； 所述控制器PLC与上位机连接。 【当前权利人】北京北方华创微电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】91110000726377528Y 【被引证次数】3 【家族被引证次数】3
