【摘要】 本发明公开了一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F-P腔，其特征在于：在F-P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板分别通过4根连接杆与F-P腔的前腔面相连，4个静电驱动器的下极板与F-P腔的后腔面固定在同一平面上；本发明的F-P腔静电驱动MEMS波长可调滤波器，其前腔面能够在静电驱动器的带动下发生整体平移，从而使得前腔面、后腔面的反射光始终保持平行，从而提高了F-P腔MEMS波长可调滤波器的滤波效率和对选择光的利用率；本发明F-P腔MEMS波长可调滤波器体积小、能耗低、结构简单以及制作容易，可以广泛适用于光纤通信系统。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院光电技术研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】610209 四川省双流350信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】双流区 【申请号】CN200810116068.0 【申请日】2008-07-02 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101320187B 【公开公告日】2010-11-03 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101320187B 【授权公告日】2010-11-03 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02F1/21 【发明人】姚军; 王大甲; 胡放荣; 邱传凯 【主权项内容】一种静电驱动的F-P腔MEMS波长可调滤波器，包含一个F-P腔，其特征在于：在F-P腔的四周连有4个静电驱动器，4个静电驱动器的上极板(2)分别通过4根连接杆(4)与F-P腔的前腔面(5)相连，4个静电驱动器的下极板(6)与F-P腔的后腔面(8)固定在同一平面上；所述的4个静电驱动器成中心对称地分布在F-P腔体四周，且4个静电驱动器的上极板(2)与连接杆(4)以及F-P腔的前腔面(5)的几何中心共线；所述的4个静电驱动器的下极板(6)与F-P腔的后腔面(8)不相连；所述的4个静电驱动器采用桥式结构，每一个静电驱动器通过两端的2个锚点(1)固定，且相邻的两个静电驱动器共用一个锚点(1)，致使4个静电驱动器的上极板(2)与锚点(1)呈一个整体结构；而4个静电驱动器的下极板(6)呈分离状。 【当前权利人】中国科学院光电技术研究所 【当前专利权人地址】四川省双流350信箱 【统一社会信用代码】12100000450811820A 【家族被引证次数】6
