【摘要】 本发明为一种裸晶粒双面检测设备，包括有一载入装置、一正面影像 检索装置、一透明玻璃、一背面影像检测装置、一取放装置、以及一控制 器。本发明先以正面影像检索装置分别拍摄并检测承载盘上多个裸晶粒的 正面画面，继透过取放装置取出承载盘上的待测裸晶粒并放置于透明玻璃 上方，再以背面影像检测装置由下往上拍摄并检测待测裸晶粒的背面画 面，最后检测的结果可透过取放装置载出裸晶粒时并作分类。因此，本发 明能大幅减少人力需求、及检测时间，进而节省成本并提升作业效率，且 又能有效增加检测的准确度，更不会造成裸晶粒的损坏。 【专利类型】发明申请 【申请人】京元电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省新竹市 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810213492.7 【申请日】2008-09-08 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101673695A 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101673695B 【授权公告日】2011-01-26 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/66 【发明人】赖昌鑫 【主权项内容】1、一种裸晶粒双面检测设备，其特征在于包括： 一载入装置，包括有一导引轨道、一滑台、及一承载盘，该滑台 滑移于该导引轨道上并可停留于一第一位置、及一第二位置，该承载盘承 载于该滑台上方，该承载盘上容置有多个裸晶粒； 一正面影像检索装置，位设于该导引轨道上方、并对应于位在该第 一位置的该滑台上的该承载盘； 一透明玻璃，组设于该导引轨道的一侧、并邻近于位在该第二位置的 该滑台； 一背面影像检测装置，组设于该透明玻璃下方，该背面影像检测装置 包括有一摄像镜头，该摄像镜头朝上面向该透明玻璃； 一取放装置，选择式地移动于位在该第二位置的该滑台上的该承载 盘、与该透明玻璃之间；以及 一控制器，分别与该载入装置、该正面影像检索装置、该背面影像检 测装置、及该取放装置电性连接，该控制器控制该正面影像检索装置分别 拍摄并检测该承载盘上该多个裸晶粒的正面画面，该控制器控制该取放装 置取出该承载盘上该多个裸晶粒其中之一待测裸晶粒并放置于该透明玻 璃上方，该控制器控制该背面影像检测装置的该摄像镜头由下往上拍摄并 检测该待测裸晶粒的背面画面。 数据由整理 【当前权利人】京元电子股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾新竹市 【被引证次数】9 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】9
