【摘要】 本发明是一种晶圆探针卡对位方法及其装置，包括提供一定位基板，底部形成一朝向下方的水平表面，且所述的水平表面下方具一驱动器，一可摆放晶圆探针卡的座台，滑设在所述的水平表面下方与所述的驱动器之间，并接受所述的驱动器驱动而往上位移，而使所述的晶圆探针卡具复数探针的表面贴抵在所述的水平表面，令晶圆探针卡呈水平状定位，致使所述的晶圆探针卡对位，以利于校正所述的探针的位置以及高度。 【专利类型】发明申请 【申请人】承韦机械有限公司; 宇晟国际股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾桃园县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810173218.1 【申请日】2008-10-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101726637A 【公开公告日】2010-06-09 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G01R1/073 【发明人】吴聪明; 黄家华 【主权项内容】一种晶圆探针卡对位方法，其特征在于：包括以下步骤：提供一定位基板，其底部具有一个朝向下方的水平表面；移载一晶圆探针卡至所述的水平表面下方，使所述的晶圆探针卡的一个具复数探针的表面朝向上方；以及，驱动所述的晶圆探针卡由所述的水平表面下方往上位移，而使所述的探针卡的具复数探针的表面贴抵在所述的水平表面，令晶圆探针卡呈水平状定位。 【当前权利人】承韦机械有限公司; 宇晟国际股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾桃园县; 【被引证次数】10 【被他引次数】10.0 【家族被引证次数】10
