【摘要】 本发明的含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法，其先利用湿式混粉过程，将 陶瓷粉体均匀地披覆于磁性金属粉体的表面，并经由干燥过程后，取得陶金复合粉体， 再利用干式混粉过程将贵金属粉体与所述陶金粉体均匀混合，最后利用成型和致密化过 程将所述陶金复合粉体制成致密的靶材。本发明的制造方法可均匀地混合所述磁性金属 粉体、所述陶瓷粉体和所述贵金属粉体，并且可减少靶材制作过程中所述贵金属粉体的 浪费，故可改善靶材的质量和降低靶材的制造成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国钢铁股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】中国台湾高雄 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810134631.7 【申请日】2008-07-28 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101638771A 【公开公告日】2010-02-03 【公开公告年份】2010 【发明人】陈荣志; 陈淑华; 洪胤庭; 陈福左; 刘正同 【主权项内容】1.一种含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法，其特征是包括以下步骤： (a)提供磁性金属粉体和陶瓷粉体，所述粉体的纯度大于99.9％； (b)将所述陶瓷粉体和所述磁性金属粉体在溶剂中进行湿式混粉，以形成浆体， 其中所述陶瓷粉体披覆于所述磁性金属粉体的表面； (c)干燥所述浆体，以形成陶金复合粉体； (d)将所述陶金复合粉体与贵金属粉体进行干式混粉，所述贵金属粉体的纯度大 于99.9％；和 (e)成型和致密化混合后的所述陶金复合粉体和所述贵金属粉体，以形成所述含 贵金属的金属基陶瓷复合靶材。 【当前权利人】中国钢铁股份有限公司 【当前专利权人地址】中国台湾高雄 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
