【摘要】 微信 本发明一种光罩存放装置以及保持光罩清洁与干燥的方法，该可充 填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该光罩具有一图案面， 该图案面设有一保护件，其中该存放装置包含有：一第一盖体；一第二盖 体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩，其中该第二 盖体具有一中央部分；至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定 位该光罩；至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射区域 以外；以及至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的 相对于该入气端口的另一侧。从入气端口进入的气体从光罩上下表面通 过，并带走在光罩及吸附在保护件表面上的湿气，达到迅速降低光罩存放 装置内的湿度。 【专利类型】发明申请 【申请人】家登精密工业股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】台湾省台北县 【申请人地区】中国 【申请人城市】台湾省 【申请号】CN200810149138.2 【申请日】2008-09-12 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101673046A 【公开公告日】2010-03-17 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】G03F1/00; G03F7/20; G03F1/66 【发明人】邱铭隆 【主权项内容】1、一种可充填气体的光罩存放装置，用以存放至少一光罩，其中该 光罩具有一图案面，该图案面设有一保护件，其特征在于，该存放装置包 含有： 一第一盖体； 一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳该光罩， 其中该第二盖体具有一中央部分； 至少一固定件，设于该第二盖体上，用以支持并定位该光罩； 至少一入气端口，设于该第二盖体上且设于该光罩的投射区域以外； 以及 至少一出气端口，设于该第二盖体上且以该中央部分为中心的相对于 该入气端口的另一侧。 【当前权利人】家登精密工业股份有限公司 【当前专利权人地址】台湾省台北县 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
