【摘要】 本发明公开了一种数控扫描波形发生器，该数控扫描波形发生器包括以下部分：DAC1(数模转换器)，DAC2，系统控制器，比较器，积分器，放大器，电阻，电容，扫描速度控制，位置脉冲，扫描波形组成。本发明与传统的离子注入机扫描波形发生器相比，其特点为扫描周期为固定常数，但在一个扫描周期内，实际进行扫描的时间可通过软件进行精确调节，即扫描的占空比可精确调节。另外，在不需要对束流进行扫描的调束阶段，它可对束流行使偏转的作用，节省了一个束偏转控制器。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810238901.9 【申请日】2008-12-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101764032A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01J37/317; H01J37/147; H01L21/265 【发明人】王迪平; 孙勇; 胡东京 【主权项内容】一种数控扫描波形发生器包括：两个DAC(数模转换器)，一系统控制器，一比较器，一积分器，一放大器，一电阻，一电容，一扫描速度控制信号，一位置脉冲信号，一扫描波形，其特征在于：(1)扫描周期为固定常数；(2)在一个扫描周期内，扫描的占空比可精确调节；(3)集合了偏转和扫描的控制功能；(4)采用单片机进行微处理控制。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1
