【摘要】 本发明公开了一种电气控制中六路气路互锁控制方式，该方式可以对六种气体的流量进行微量调节控制，并可对各气体流量进行反馈检测实行闭环控制，精确控制气体流量，还有很强的气路互锁功能，严防不能混合的气体同时进气。提高了工艺气体的互锁等级，保证不会使工艺气体混淆，提高了快速闪光退火炉的可靠性。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京中科信电子装备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】101111 北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】通州区 【申请号】CN200810238895.7 【申请日】2008-12-04 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101764043A 【公开公告日】2010-06-30 【公开公告年份】2010 【IPC分类号】H01L21/00; H01L21/324; F27D7/00 【发明人】金则军; 彭彬; 戴习毛 【主权项内容】一种工艺气体的互锁控制方式，本发明是对快速闪光退火炉的输送工艺气体控制方式的改进，在设计中，采用光电隔离将控制电路与气路驱动电路隔离，减少电磁阀门等执行件的操作带来的干扰，采用多触点继电器，控制继电器触点之间的通断来实现气路间的互锁，其特征在于：(1).系统复位时，六种气体的气路全部锁定在关闭状态；(2).氩气(AR)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；(3).氯化氢(HCL)，氨气(NH3)不能同时打开；(4).氨气(NH3)，氧气(O2)不能同时打开；(5).氧气(O2)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；(6).氨气(NH3)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开。 【当前权利人】北京中科信电子装备有限公司 【当前专利权人地址】北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】911101127513429762
