【摘要】 本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块的两侧反射面对应，与所述输出光纤槽垂直相对设置有两个输出光纤槽，所述输入、输出光纤槽内设置有输入、输出光纤。本发明利用固定电极和可动电极组成的梳齿型静电驱动器移动光反射模块来实现可调分光功能和光开关功能，同时利用固定电极和可动电极组成的平板型静电驱动器扭转光反射模块来实现光衰减功能。本发明的制备方工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统中。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子学研究所 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810104013.8 【申请日】2008-04-14 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101290395B 【公开公告日】2010-11-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101290395B 【授权公告日】2010-11-10 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】G02B26/08; G03F7/00; B81C1/00 【发明人】吴文刚; 陈庆华; 王子千; 邹积彬; 闫桂珍; 郝一龙; 王阳元 【主权项内容】 。一种微型多功能光学器件，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述固定电极为连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述折叠横梁通过一通梁和两短梁连接所述两梳齿式可动电极，且通过锚点悬浮固定在所述玻璃衬底上；所述组合扭转梁由六个支梁组成，其中两所述支梁的一端分别连接所述折叠横梁，另一端分别连接所述两平板式可动电极外侧，另两所述支梁的一端分别连接所述两平板式可动电极内侧，另一端分别连接所述光反射模块的尾部两侧，再两所述支梁的一端分别连接所述折叠横梁，另一端分别连接所述光反射模块的尾端；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述光反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块的两侧反射面对应，与所述输入光纤槽垂直相对设置有两个输出光纤槽，所述输入、输出光纤槽内设置有输入、输出光纤。 【当前权利人】北京大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区颐和园路5号北京大学微电子学研究所 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400002259P 【家族被引证次数】19
