【摘要】 一种扫描电子显微镜，具有电子源，其阴极和阳极保持恒定的高抽取电压，可以得到高亮度、低能散的一次电子束；一个高压管系统，包含上高压管和下高压管，二者独立供电，使一次电子在其内部具有高能量，减小电子间相互作用；一个物镜聚焦系统和减速装置，将一次电子束以特定着陆能量聚焦于样品上；偏转系统含有一个环形多极的静电偏转器，其静电偏转器位于聚焦磁场内，形成聚焦偏转复合场，具有更小的偏转像差，可以对样品进行快速高分辨大视场成像。 【专利类型】发明授权 【申请人】汉民微测科技(北京)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100095 北京市海淀区温泉镇东埠头王庄4号院 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810085128.7 【申请日】2008-03-21 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101388317B 【公开公告日】2010-08-25 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101388317B 【授权公告日】2010-08-25 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】H01J37/28 【发明人】陈仲伟; 郭小立; 任岩; 何福民; 曹峰; 郭瑜; 卢志刚 【主权项内容】一种扫描电子显微镜，其中具有：一个电子源，包括一个阴极，以产生一次电子，一个阳极以加速所述阴极发出的一次电子至所述阳极电势；一个高压管系统，包括上高压管和下高压管两个部分，二者由不同的电源供电；一个光阑选择装置，以选择不同的电子束电流；一个闪烁体探测器系统，以探测样品在所述一次电子束照射下发出的二次电子及背散射电子；一个物镜聚焦系统，以会聚所述一次电子到样品上；一个电磁复合的偏转扫描系统，以偏转所述一次电子；一个屏蔽电极，位于物镜和样品之间；一个样品台；其中所述上高压管和所述阳极的电势相同。 【当前权利人】ASML荷兰有限公司 【当前专利权人地址】荷兰维德霍温 【专利权人类型】外商投资企业 【统一社会信用代码】91110114786150237F 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】30
