【摘要】 本发明涉及表面等离子激元光波导结构技术领域，为了克服传统金属/介质 /金属波导传输损耗大的缺陷，提供了一种能以低损耗传输反对称-高能量模式 的表面等离子激元光波导结构。所述光波导结构利用中心的多层高折射率层与 低折射率的基底和包层的折射率差与金属层的表面等离子激元效应共同实现波 导效应以支持反对称-高能量模式的传输；通过在金属层两侧的低折射率介质层 降低传输损耗，从而实现低损耗的表面等离子激元光波导。所述光波导结构同 时具有有效模场面积小、损耗低的优点，能够用于亚波长尺寸的光器件的制作， 用于超高集成度的光路。 【专利类型】发明申请 【申请人】国家纳米科学中心; 北京航空航天大学 【申请人类型】科研单位,学校 【申请人地址】100190北京市海淀区中关村北一条11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810226263.9 【申请日】2008-11-11 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101630038A 【公开公告日】2010-01-20 【公开公告年份】2010 【发明人】郑铮; 赵欣; 卞宇生; 朱劲松; 范江峰 【主权项内容】1.一种能以低损耗传输反对称-高能量模式的表面等离子激元光波导结构， 包括多层金属/介质结构。所述多层金属/介质结构包括底部的基底层，在基底 层起由下而上依次叠放的高折射率介质层/低折射率介质层/金属层/低折射率 介质层/高折射率介质层/介质/低折射率介质层/金属层/低折射率介质层/高折 射率介质层以及外围的包层。。微信 【当前权利人】国家纳米科学中心; 北京航空航天大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区中关村北一条11号; 北京市海淀区学院路37号 【专利权人类型】; 【统一社会信用代码】12100000717806298R; 12100000400011227Y 【被引证次数】20 【被自引次数】6.0 【家族被引证次数】20
