【摘要】 本发明涉及一种电子纸、电子纸薄膜晶体管基板及其制造方法。薄膜晶体管基板包括形成在基板上的栅线、数据线和公共电极线，所述栅线和数据线限定的显示区域内形成有薄膜晶体管和显示电极，所述显示电极与薄膜晶体管的漏电极为一体结构。薄膜晶体管基板制造方法包括：采用普通掩模板通过构图工艺形成包括栅线、栅电极和公共电极线的图形；采用半色调或灰色调掩模板通过构图工艺形成包括数据线、源电极、漏电极和显示电极的图形，所述显示电极形成在显示区域内并与所述漏电极为一体结构；沉积钝化层。本发明通过将显示电极与薄膜晶体管的漏电极设置成一体结构，简化了薄膜晶体管基板的结构，同时简化了薄膜晶体管基板的制备工艺。 【专利类型】发明申请 【申请人】京东方科技集团股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100016 北京市朝阳区酒仙桥路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】朝阳区 【申请号】CN200810239776.3 【申请日】2008-12-16 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101752387A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101752387B 【授权公告日】2012-02-29 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】H01L27/12; H01L23/522; H01L21/84; H01L21/768; G02F1/167; G02F1/01; H01L21/70; H01L23/52 【发明人】孙增辉; 胡文杰; 张卓; 王刚; 邵喜斌 【主权项内容】一种电子纸薄膜晶体管基板，包括形成在基板上的栅线、数据线和公共电极线，所述栅线和数据线限定的显示区域内形成有薄膜晶体管和显示电极，其特征在于，所述显示电极与薄膜晶体管的漏电极为一体结构。。： 【当前权利人】京东方科技集团股份有限公司 【当前专利权人地址】北京市朝阳区酒仙桥路10号 【专利权人类型】其他股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】911100001011016602 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】2
