【摘要】 本发明提供了一种磁控溅射喷涂机器人示教轨迹优化控制方法，其特征在于，通过计算机将获得的示教轨迹反解成机器人各轴运动的数据，将该数据传输给控制系统，并通过控制系统控制机器人的运行，使得被机器人抓着的溅射靶按照示教轨迹行走。实验表明利用本发明可以对多种复杂的基片进行镀膜，并取得了良好的镀膜效果。 【专利类型】发明授权 【申请人】北京邮电大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】100876 北京市海淀区西土城路10号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810006921.3 【申请日】2008-01-25 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101224576B 【公开公告日】2010-09-29 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101224576B 【授权公告日】2010-09-29 【授权公告年份】2010.0 【IPC分类号】B25J9/16; B25J9/22; C23C14/35 【发明人】邓中亮; 刘爱斌 【主权项内容】磁控溅射喷涂机器人示教轨迹控制方法，其特征在于，通过计算机将获得的示教轨迹反解成机器人各轴运动的数据，将该数据传输给工控机，并通过工控机控制机器人的运行，使得被机器人抓着的溅射靶按照示教轨迹行走，所述示教轨迹为曲面三维轨迹，其通过如下方法获得：1)读取用三角形数据表示的曲面文件；2)用一个或多个平面切割曲面3)将平面与三角形两边的交点按照顺序排列，即得到曲面三维轨迹，其中步骤2)和3)用某一平面S切割曲面，将与平面S相交的三角形数据建立单链表，每个三角形数据用链表中的每一个结点表示，设链表指针为Sn，n＝1，2，3，...，Max，设Sn所指向的结点中平面与三角形的交点为An和Bn，取任一结点中的两个交点，假设为Ai和Bi，以Ai为头结点，Bi作为尾结点，建立新的链表，用Ai的值遍历链表，找到具有相同交点的结点，假定为Sj，则下一个点为Bj，以此类推，从而得到以Ai作为头结点的链表，同样可以得到以Bi为尾结点的链表，将这两个链表连接成一个链表，即得到平面S切割形成的连续排列的曲面三维轨迹；并且，将相邻两平面a、b切割得到的顺序排列的链表的首结点或尾结点相连，将平面b以及与平面b相邻的另一平面c的尾结点或首结点相连，依次类推，将多个平面切割得到的轨迹拟合成一个；并且，用距离均匀的点来表示获得的三维轨迹，其方法是：假定需要将三维轨迹用固定距离为S的点表示，假定用A1，A2，....，An来表示三维轨迹中的各点，当A1与A2之间的距离小于S时，舍弃A2点，再将A1与A3之间的距离与S比较；当A1与A2两点间的距离大于S时，则在A1与A2之间插入点B1，A1与B1之间的距离为S，再将B1与A2之间的距离与S比较，以此类推；并且，将轨迹末端沿着轨迹切线方向延长。。： 【当前权利人】北京邮电大学 【当前专利权人地址】北京市海淀区西土城路10号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000400009952C 【家族被引证次数】9
