【摘要】 ： 本发明涉及一种谐振式微型电场传感器，包括：一衬底；具有梳齿结 构的激励电极由锚点固定在衬底的一侧；具有梳齿结构的振动敏感电极由 锚点固定在衬底的另一侧；屏蔽电极和电场感应电极固定在激励电极和振 动敏感电极中间位置的衬底区域上，其中，屏蔽电极和电场感应电极交错 排列；横梁，位于屏蔽电极的中部；支撑梁，支撑梁的一端由锚点固定在 衬底上，另一端与激励电极和振动敏感电极连接。本发明可以降低器件的 静电激励电压，提高传感器的灵敏度和精度，进一步增强其环境抗干扰能 力。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院电子学研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100080北京市海淀区北四环西路19号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810222769.2 【申请日】2008-09-24 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101685119A 【公开公告日】2010-03-31 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101685119B 【授权公告日】2012-06-27 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】G01R29/12; B81B7/02; B81B7/00 【发明人】彭春荣; 夏善红 【主权项内容】1.一种谐振式微型电场传感器，其特征在于，其传感器敏感结构包 括： 一衬底(1)； 具有梳齿结构的激励电极(4)由锚点(9)固定在衬底(1)的一侧； 具有梳齿结构的振动敏感电极(5)由锚点(9)固定在衬底(1)的 另一侧； 屏蔽电极(6)和电场感应电极(7)固定在激励电极(4)和振动敏 感电极(5)中间位置的衬底(1)区域上，其中，屏蔽电极(6)和电场 感应电极(7)交错排列； 横梁(61)，位于屏蔽电极(6)的中部； 支撑梁(8)，支撑梁(8)的一端由锚点(9)固定在衬底(1)上， 另一端与激励电极(4)和振动敏感电极(5)连接； 闭环反馈控制电路部分(2)的输入端与振动敏感电极(5)相连的焊 盘(59)连接，而其输出端则接入与激励电极(4)相连的焊盘(49)， 闭环反馈控制电路(2)实现传感器屏蔽电极(6)自动工作在谐振状态。 【当前权利人】中国科学院电子学研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区北四环西路19号 【统一社会信用代码】12100000400012406C 【被引证次数】44 【被自引次数】18.0 【被他引次数】26.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】44
