【摘要】 一种电学测试的汞探针装置，其特征在于，包括：一基座，该基座为 扁平状的圆柱体，在基座的中心处纵向开有一细水银槽，在基座的中心处 细水银槽的周围开有圆环形的水银槽；在基座的左侧圆柱体侧壁上开有一 左水银槽，该左水银槽与圆环形的水银槽连通；与左水银槽相对的位置开 有一右水银槽，该右水银槽与细水银槽垂直连通；与左、右水银槽垂直， 在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、右水银通道；一左推 杆，该左推杆的一端插入在左水银槽内；一右推杆，该右推杆的一端插入 在右水银槽内。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810118013.3 【申请日】2008-08-06 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101644691A 【公开公告日】2010-02-10 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101644691B 【授权公告日】2012-06-27 【授权公告年份】2012.0 【发明人】纪刚; 孙国胜; 宁瑾; 刘兴昉; 赵永梅; 王雷; 赵万顺; 曾一平; 李晋闽 【主权项内容】 1.一种电学测试的汞探针装置，其特征在于，包括： 一基座，该基座为扁平状的圆柱体，在基座的中心处纵向开有一细水 银槽，在基座的中心处细水银槽的周围开有圆环形的水银槽；在基座的左 侧圆柱体侧壁上开有一左水银槽，该左水银槽与圆环形的水银槽连通；与 左水银槽相对的位置开有一右水银槽，该右水银槽与细水银槽垂直连通； 与左、右水银槽垂直，在基座的上面分别开有一与左、右水银槽连通的左、 右水银通道； 一左推杆，该左推杆的一端插入在左水银槽内； 一右推杆，该右推杆的一端插入在右水银槽内。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】TRUE 【家族被引证次数】TRUE
