【摘要】 本发明公开了一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，包括：一挡片，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔，用以将挡片固定在样品托上；一样品托，该样品托具有一供挡片滑动的凹槽，且该样品托中间有一方形通孔，该方形通孔两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔，以便于用螺丝将挡片和样品托固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽和样品托之间。本发明提供的用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，能够固定不同大小的样品，只要样品有一边整齐就可以固定牢靠，可以适用于尺寸变化大，边缘不规则的薄样品，而且装卸方便。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国科学院半导体研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】100083 北京市海淀区清华东路甲35号 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN200810240352.9 【申请日】2008-12-17 【申请年份】2008 【公开公告号】CN101748368A 【公开公告日】2010-06-23 【公开公告年份】2010 【授权公告号】CN101748368B 【授权公告日】2011-08-31 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C14/30; C23C14/28 【发明人】刘万峰; 王利军; 刘峰奇; 王占国 【主权项内容】一种用于电子束蒸发薄膜的样品夹具，其特征在于，包括：一挡片(2)，该挡片主体为长方体，在该挡片的一侧面开有一凹槽(3)，用以固定样品一边；该长方体挡片的正面两端各一螺纹孔(1)，用以将挡片(2)固定在样品托(4)上；一样品托(4)，该样品托(4)具有一供挡片(2)滑动的凹槽(8)，且该样品托(4)中间有一方形通孔(7)，该方形通孔(7)两侧各有一个可穿过螺丝的矩形通孔(5)，以便于用螺丝将挡片(2)和样品托(4)固定在一起，样品被夹在挡片的凹槽(3)和样品托(4)之间。 【当前权利人】中国科学院半导体研究所 【当前专利权人地址】北京市海淀区清华东路甲35号 【统一社会信用代码】12100000400012385U 【被引证次数】5 【被自引次数】2.0 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】5
